Sondage de circuits intégrés par faisceau électronique […]
La conception des circuits intégrés nécessite, en fin de chaîne, des outils d'édition de circuit et d'analyse de défaillance. Parmi ces outils, le sondage de niveaux de potentiels électriques par utilisation d'un faisceau électronique disponible dans un MEB (Microscope Electronique à Balayage) permet de connaitre le signal électrique présent dans une zone du circuit, cette zone pouvant être un niveau de métal ou un transistor. Cette technique de sondage électronique a été très utilisée dans les années 90, puis partiellement abandonnée malgré...